微位移实验室 微位移实验室

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    微位移技术实验室是对主动光学拼接镜面技术中微位移器件、装置、设备等进行测试、定标和研制的实验室,是国内目前测量分辨率和精度最高的高科技实验室之一。

       微位移实验室选配了测量长度及位移功能的双频激光干涉仪,用于位移促动器的测量及位移传感器的测试与研究,分辨率达到1.25nm,在满足相应环境要求的前提下,稳定性达到12.5nm(可以通过改善环境达到更高的精度),相对精度达到0.2ppm。测量距离最大为40m波长稳定性为10-9(一小时内)、10-8(寿命时间内)。达到了国内领先、国际先进水平。

  1、仪器设备

  ⑴ 恒温、恒湿洁净实验室

  性能:恒温:工作温度范围:20~25℃,稳定性:±0.2℃,均匀度:±0.2℃;

  恒湿:50±5%;

  洁净度:亚千级(约2000级)

  ⑵ 双频激光干涉仪

  采用德国JENAer ZLM800双频激光干涉仪,其中光学器件全部由ZEISS生产,主要性能为:

  测量距离:0~40m;

  分辨率:1.25nm;

  不确定性(精度):15nm;

  相对精度:0.22ppm;

  测量最大速度:3.2m/s;

  激光头频率稳定性:2×10-9(每小时),2×10-8(寿命时间)

  ⑶ 虚拟仪器

  美国NI公司Labview7.1软件套件,虚拟仪器硬件套件:数字万用表、示波器、信号发生器、运动控制器、信号采集卡。

  2、 研究方向

  ⑴ 天文望远镜中各种高精度位移、长度器件、设备的测量、定标;

  ⑵ 研制主动光学拼接镜面中使用的高精度位移促动器;

  ⑶ 研制主动光学拼接镜面中使用的高精度位移传感器;

  ⑷ 跟踪国际望远镜的先进技术,提出新的研究方向。