微位移实验室
微位移技术实验室是对主动光学拼接镜面技术中微位移器件、装置、设备等进行测试、定标和研制的实验室,是国内目前测量分辨率和精度最高的高科技实验室之一。
微位移实验室选配了测量长度及位移功能的双频激光干涉仪,用于位移促动器的测量及位移传感器的测试与研究,分辨率达到1.25nm,在满足相应环境要求的前提下,稳定性达到12.5nm(可以通过改善环境达到更高的精度),相对精度达到0.2ppm。测量距离最大为40m波长稳定性为10-9(一小时内)、10-8(寿命时间内)。达到了国内领先、国际先进水平。
1、仪器设备
⑴ 恒温、恒湿洁净实验室
性能:恒温:工作温度范围:20~25℃,稳定性:±0.2℃,均匀度:±0.2℃;
恒湿:50±5%;
洁净度:亚千级(约2000级)
⑵ 双频激光干涉仪
采用德国JENAer ZLM800双频激光干涉仪,其中光学器件全部由ZEISS生产,主要性能为:
测量距离:0~40m;
分辨率:1.25nm;
不确定性(精度):15nm;
相对精度:0.22ppm;
测量最大速度:3.2m/s;
激光头频率稳定性:2×10-9(每小时),2×10-8(寿命时间)
⑶ 虚拟仪器
美国NI公司Labview7.1软件套件,虚拟仪器硬件套件:数字万用表、示波器、信号发生器、运动控制器、信号采集卡。
2、 研究方向
⑴ 天文望远镜中各种高精度位移、长度器件、设备的测量、定标;
⑵ 研制主动光学拼接镜面中使用的高精度位移促动器;
⑶ 研制主动光学拼接镜面中使用的高精度位移传感器;
⑷ 跟踪国际望远镜的先进技术,提出新的研究方向。